硅片SRP樣品晶圓怎么研磨?玻璃陶瓷怎么定位定量研磨?用什么研磨機(jī)?

發(fā)布日期:2022-04-26 10:42
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    介紹一款MSG-400自動(dòng)精密研磨拋光機(jī),主要應(yīng)用于金屬、陶瓷、玻璃、PCB板、光學(xué)材料(如硫化鋅、硅等晶體)、復(fù)合材料、尤其是SRP樣品等材料的研磨,通過(guò)借助專用的治具實(shí)現(xiàn)研磨拋光的目的。這些材料要求設(shè)備有高平穩(wěn)性,低轉(zhuǎn)速保證研磨的有效性。

產(chǎn)品特點(diǎn):

Ø載具可快速拆裝,便于更換研磨盤

Ø研磨轉(zhuǎn)速采用無(wú)級(jí)調(diào)速控制方式,觸摸屏控制,主軸采用NSK軸承保證了設(shè)備的壽命; 

Ø有定時(shí)功能,可控制工作時(shí)間(0-999h之間),時(shí)間到有蜂鳴器提示音;

Ø使用低速靜音電機(jī),長(zhǎng)時(shí)間低速運(yùn)行也不容易發(fā)熱;

Ø選備自動(dòng)滴液器,可三擋控制研磨液的滴速;、

Ø采用大口徑出水管,排水順暢,無(wú)須擔(dān)心堵塞或水流溢出;

Ø皮帶采用同步帶,傳動(dòng)效率極高,結(jié)構(gòu)合理,皮帶位置方便維修和更換;



SRP樣品研磨


                   





玻璃樣品通過(guò)低溫蠟固定在載物平臺(tái),配合校準(zhǔn)塊使樣品平行貼合,通過(guò)簡(jiǎn)易版磨削量控制夾具可做到精度0.01mm得定量研磨,也可借助數(shù)顯型專用夾具做到精度0.001mm得定量研磨。

                                                      
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